2026年8月22日，7M体育-7M体育足球比分网 （以下简称“7M体育 ”）联合人工智能学院，在电机楼40027室成功举办“仲荣”人工智能交叉学科论坛暨仪器大讲堂学术活动。本次活动以“AI for Advanced Lithography & Instrumentation（人工智能赋能先进光刻与仪器）”为主题，邀请海内外知名高校及产业界多位权威学者作前沿学术报告，现场研讨氛围热烈。

图1 与会师生合影

          7M体育 院长崔俊宁教授担任会议主席并主持会议，崔俊宁指出，人工智能赋能以仪器科学等为代表的自然科学，是未来重要的科技发展趋势，当前精密仪器领域前沿研究重点聚焦先进光刻、集成电路、原子级制造等关键方向，希望7M体育 师生紧密围绕国家重大战略需求，聚焦相关领域“卡脖子”难题，勇于探索AI赋能仪器科学的新范式，力争在基础理论突破和高端仪器研发上取得标志性成果。

图2 崔俊宁院长主持会议

7M体育 党委书记杨彬教授致开幕辞，杨彬对莅临会议的各位专家学者表示热烈欢迎，并指出，学科交叉是创新的源泉，思想碰撞是进步的阶梯，希望参会师生珍惜难得的学习交流机会，踊跃参与研讨，在交流中拓展视野、在碰撞中激发灵感。

图3 杨彬书记致开幕辞

本次会议报告专家阵容强大，邀请了东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司俞宗强董事长，中国科学院微电子研究所、中国科学院大学集成电路学院韦亚一教授，汉威科技集团研究院桑小田副院长，澳大利亚皇家墨尔本理工大学林瀚副教授，香港中文大学叶敏馨博士，以及7M体育 国家级青年人才丁磊教授、陈炳旭副教授等专家学者，分别呈现了七个高水准学术报告。

俞宗强董事长以“后摩尔时代的挑战和机遇”为题，系统阐述了东方晶源提出的HPO一体化良率解决方案，展示了如何依托AI与算力赋能，整合制造端EDA工具、计算光刻与纳米级检测数据，构建差异化竞争的Golden Flow及综合良率提升平台，为产业在后摩尔时代实现自主可控的跨越式发展提供新思路，并分享了利用AI与算力创新攻克2D光刻难题的最新探索。

韦亚一教授聚焦“先进光刻量产中的测量方法及其技术路线”，详细梳理了光刻量产工艺中关键尺寸测量、套刻误差测量、薄膜厚度测量、缺陷检测与复检等核心测量需求，对比分析了主流测量技术的原理与优劣，并前瞻性描绘了满足未来技术指标所需的潜在测量技术路径。

桑小田副院长以“从感知到认知：AI驱动智能仪器研发与应用创新”为题，介绍了智能优化算法在敏感结构正向设计中的应用，以及机器学习模型在目标辨识、干扰抑制与态势研判中的实践，构建了“研发迭代—现场应用—数据反哺”的闭环体系，为先进智能仪器的发展提供了切实可行的技术范式。

林瀚副教授线上作了“原子材料和集成光电子器件的智能激光纳米打印”报告。他介绍了智能三维激光纳米打印技术，基于双光子聚合、光烧蚀与光诱导相变机制，结合超分辨光刻实现数十纳米分辨率；通过像差校正消除深层畸变，相位调制实现焦点阵列并行打印，并引入表面追踪、自动对焦与原位三维折射率成像，将表征时间由数天压缩至数分钟。

丁磊教授围绕“非线性光学探测和激光加工”，介绍了在稀土纳米探针应用于精密检测与激光加工方面的研究成果。精密检测方面，实现了单束近红外光激发的超分辨成像、开发了多路复用超分辨显微技术、构建了光子力显微镜实现亚飞牛级光力测量；激光加工方面，提出上转换辅助光聚合策略，利用稀土探针产生的局域荧光引发自由基聚合，实现媲美飞秒双光子聚合的低成本上转换辅助新型光刻。

陈炳旭副教授以“数字光场调控赋能下的微纳光学系统：设计、实现与应用”为题，介绍了基于数字微镜器件与二元全息方法开发的超精密光场整形及超快光场调制模块。该模块兼容飞秒与连续激光，具备300 nm谱宽色散补偿能力；超快调制模块借助FPGA-GPU协同加速，实现约10 kHz闭环更新速率，并在多个典型平台上验证了其技术有效性。

叶敏馨博士聚焦“基于飞秒光片投影的玻璃并行加工技术”，展示了一种可编程飞秒光片实现高通量、亚衍射极限二维及三维纳米结构加工的新方法。她构建了基于数字微镜器件的超快激光投影系统，在玻璃和光学晶体表面实现高精度无碎屑微纳加工，并开发出新型并行五维光存储数据写入方式，为光栅、超表面、微流体器件及光存储设备制造提供了高度可扩展的解决方案。

图4 会议现场掠影

整场活动报告内容扎实厚重，互动研讨环节氛围浓厚。与会师生围绕AI算法与物理模型的融合、跨尺度制造精度控制、产业化落地挑战等议题开展了充分研讨。与会者一致认为，本次会议集中展示了人工智能与先进光刻、精密仪器交叉领域的最新学术前沿，在产学研之间架起了高效沟通的桥梁，为青年学者和研究生提供了宝贵的思想启迪与合作契机。